真空系統和泵

擴散泵

除非您觀(guān)察到與擴散泵油相關(guān)的故障，否則沒(méi)有必要在一年內換兩次擴散泵油。要檢查擴
散泵油，必須先將MSD 放空（5975/5973 除外）。因此，檢查泵油的最好時(shí)機是為了進(jìn)行其
他維護而已經(jīng)放空儀器真空時(shí)。

前級泵

前級泵油通常每六個(gè)月更換一次，但要根據應用情況而改變。泵油更換后，如果有前級捕
集器，則應更換分子篩。

避免接觸到泵油。某些樣品的殘留物可能有毒。用過(guò)的泵油要妥善處理。